微機電系統光開關可分為移動光纖式光開關、移動套管式光開關和移動透鏡(包括反射鏡、棱鏡和自聚焦透鏡)式光開關。表示l×Ⅳ移動光纖式光開關，它用電磁鐵驅動活動臂移動，切換到不同的固定臂光纖一圖3 19b表示1×2移動反射鏡式光開關。
微機電系統(MEMs)光殲關巳成為DwDM(密集型光波復用)網中大容量光交換技術的主流，它是一種在半導體襯底材料E用傳統的半導體工藝制造出可以前傾后仰、上下移動或旋轉的微反射鏡陣列，在驅動力的作用下，對輸入光信號可切換到不同輸出光纖的微機電系統。通常微反射鏡的尺寸為140¨m×150¨m，驅動力可以利用熱力效應、磁力效應和靜電效應產生。這種器件的特點是體積小、消光比大、對偏振不敏感、成本低，其開關速度適中，插入損耗小于1 dB.
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